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雷电竞raybet6測量架構分析——蘇州飛時曼

點擊次數:3517  更新時間:2019-07-22

AFM雷电竞raybet6的主要構成可分為(wei) 五大塊:探針、偏移量偵(zhen) 測器、掃描儀(yi) 、回饋電路及計算機控製係統。

AFM雷电竞raybet6的探針長度隻有幾微米長,一般由懸臂梁及針尖所組成,主要原理是由針尖與(yu) 測試樣片間的原子作用力,使懸臂梁產(chan) 生微細位移,以測得表麵結構形狀,其中常用的距離控製方式為(wei) 光束偏折技術。

探針放置於(yu) 一彈性懸臂(cantilever)末端,一般由Si、SiO2、SiN4、納米碳管等所組成探針,。當探針的和樣品的表麵接觸非常近時,它們(men) 二者之間會(hui) 產(chan) 生一股作用力,其作用力的大小值會(hui) 隨著探針與(yu) 樣品間距離的大小變化而變化,使得懸臂發生彎曲或者偏移,用低功率雷射照射在懸臂末端上,利用感光二極管偵(zhen) 測器(Photodetector)來測量低功率雷射光所反射的角度變化。因此當探針掃描過樣品表麵時,反射的雷射光角度也會(hui) 發生變化,感光二極管的二極管電流也會(hui) 隨之不同。再由所測量初的電流變化,推算出懸臂被彎曲或歪移的程度,輸入計算機計算可產(chan) 生所測樣品表麵三維空間影像。

在測量樣品到係統計算出影像的過程中,探針和被測樣品間的距離始終保持在納米量級。距離太大則不能獲取到樣品表麵的信息,距離太小則會(hui) 損傷(shang) 探針和被測樣品表麵;回饋電路的作用就是在工作過程中,由探針得到探針與(yu) 樣品相互作用的強度,來改變加在樣品掃描器垂直方向的電壓,從(cong) 而使樣品伸縮,調節探針和被測樣品間的距離,反過來控製探針一樣品相互作用的強度,實現反饋控製。因此,反饋控製是本係統的核心工作機製。係統采用數字反饋控製回路,用戶在控製軟件的參數工具欄通過參考電流、積分增益和比例增益等幾個(ge) 參數的設置對該反饋回路的特性進行控製。

 

雷电竞raybet作為(wei) 自主研發AFM的雷电竞raybet6廠家,推出的掃描近場光學顯微鏡采用探針收集模式,用於(yu) 近場光譜及納米分辨成像。

飛時曼雷电竞raybet6係統

配置清單:

1、激光器:半導體(ti) 激光器,波長:532nm,( 635nm;800nm、405nm可選;)

2、光學顯微鏡聯用掃描近場光學顯微鏡係統;

3、采用光子計數器模塊或微光探測光電倍增管模塊,工作波長280nm-870nm;

4、近場探針波長響應範圍優(you) 於(yu) :350-1000nm,探針近場可重複性大於(yu) 90% ;

5、配備10根孔徑90nm SNOM探針。
 

主要技術指標:

1、X-Y線性掃描範圍:50umX50um;

2、掃描台在Z方向的線性移動範圍:5um ;

3、樣品尺寸:小於(yu) 40mmX40mm;

4、樣品台水平移動範圍:6mmX6mm;

5、剪切力分辨率: Z方向1nm; XY方向10nm ;

6、光學分辨率:50-100nm,取決(jue) 於(yu) 探針質量;

7、Z方向步進距離:小於(yu) 200nm。

 

雷电竞raybet6係統

1、AFM成像功能包括:接觸式/輕敲模式/側(ce) 向力模式;

2、樣品掃描範圍:100umx100umx10um(WHD),三維全量程閉環控製掃描器, xyz非線性度小於(yu) 0.05%,xy方向掃描精度:0.2nm;z方向掃描精度 0.05nm;

3、數字化控製係統: XY采用18-bit D/A, Z采用16-bitD/A;

4、數據采樣:14-bit A/D、雙多路同步采樣。
 

掃描近場光學 雷电竞raybet6聯用係統:

主要部件:

掃描管:國外進口;

探針:國外進口;

激光器:國外進口;

光子計數器模塊/微光探測光電倍增管模塊:國外進口;

控製軟件:自主開發。

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